| 发明名称 |
A composition for oxide thin film, preparation method of the composition, methods for forming the oxide thin film using the composition, and an electrical device using the composition |
| 摘要 |
<p>산화물 반도체용 조성물, 그 제조 방법, 이를 이용한 산화물 반도체 박막 및 전자 소자 형성 방법이 제공된다. 산화물 반도체용 조성물은 산화물 박막을 위한 화합물 및 전도도를 조절하기 위한 안정제를 포함하며,안정제는 화합물의 총 몰수의 2 내지 12배의 몰수로 포함된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101260957(B1) |
申请公布日期 |
2013.05.06 |
| 申请号 |
KR20100139870 |
申请日期 |
2010.12.31 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
C01G9/00;C01G15/00;H01B1/08;H01L29/00 |
主分类号 |
C01G9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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