| 摘要 |
<p>본 발명은 기판의 절단면 검사장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카메라와 기판과 조명수단을 일직선상에 배치하여 기판의 두께를 통과한 광으로부터 절단면의 결함을 검사할 수 있는 기판의 절단면 검사장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 기판의 절단면 검사장치는 기판의 두께방향 일측에 배치되는 카메라; 및 상기 기판의 두께방향 타측에 배치되는 조명수단;을 포함하며, 상기 기판의 절단면을 사이에 두고, 상기 카메라와 조명수단의 중심축은 일직선이 되도록 배치된다.</p> |
