发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT ET DE COLLAGE DIRECT D'UNE COUCHE DE MATERIAU
摘要 <p>Procédé de traitement d'au moins une première couche de matériau comportant des liaisons siloxanes dont au moins une surface est destinée à être solidarisée à une surface d'une deuxième couche de matériau par un collage direct, comportant au moins une étape de diffusion forcée, au moins dans la première couche de matériau, d'espèces chimiques comprenant au moins une paire d'électrons libres et au moins un proton labile, transformant au moins une partie des liaisons siloxanes en liaisons silanoles dans au moins une partie de la première couche de matériau s'étendant depuis ladite surface jusqu'à une profondeur supérieure ou égale à environ 10 nm.</p>
申请公布号 FR2981941(A1) 申请公布日期 2013.05.03
申请号 FR20110059722 申请日期 2011.10.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 MORICEAU HUBERT;FOURNEL FRANK;MORALES CHRISTOPHE;RAUER CAROLINE
分类号 C09J5/02;B32B7/04;H01L21/50 主分类号 C09J5/02
代理机构 代理人
主权项
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