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发明名称 FILM FORMING APPARATUS AND FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 HK1144447(A1) 申请公布日期 2013.05.03
申请号 HK20100111011 申请日期 2010.11.26
申请人 EBARA-UDYLITE CO. LTD 发明人 JUNICHIRO YOSHIOKA;KUNIAKI HORIE;NOBUMASA NAMBU
分类号 C23C 主分类号 C23C
代理机构 代理人
主权项
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