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Es werden Massenspektrometer vorgeschlagen, die besonders nützlich für die Untersuchung von Ionenstrahlen über einen breiten Bereich von Ionenmassen sind, worin einzelne Strahlen von Ionen verschiedener Masse auf eine Schlitzanordnung in einer Schlitzanordnungsplatte (7) abgebildet werden, wobei der Abstand der Schlitze dem Abstand des Satzes von Ionenstrahlen (1 bis 6) entspricht, der aus dem magnetischen Auffächern eines gemischten Ionenstrahls aus einer Quelle resultiert. Einzelne Detektoren (8, 9, 10, 17, 18, 19), z. B. Faraday-Becher, sind jedem Schlitz zugeordnet. Gemäß der Erfindung ist eine Anzahl von elektrostatischen Analysatoren (14, 15, 16) zwischen einigen oder allen der Schlitze in der Schlitzanordnungsplatte (7) angeordnet, durch welche Ionen mit höherer Masse als der der hauptsächlichen Spezies in dem Ionenstrahl treten, um gestreute Ionen und Elektronen abzufangen und dementsprechend die Empfindlichkeit der Vorrichtung erheblich zu steigern.
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