发明名称 Transistoren mit einer Kanalhalbleiterlegierung, die in einer frühen Prozessphase auf Basis einer Hartmaske hergestellt wird
摘要
申请公布号 DE102012211834(A1) 申请公布日期 2013.05.02
申请号 DE201210211834 申请日期 2012.07.06
申请人 GLOBALFOUNDRIES INC. 发明人 SCHEIPER, THILO;BAARS, PETER
分类号 H01L21/8234;H01L21/8238 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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