| 摘要 |
<p>Eine Sensoreinheit umfasst eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und eine Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil aufweist. Der ortsfeste Teil der Membran ist an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit fixiert; und es ist im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit fixiert ist, und dem aktiven Teil mindestens eine Rille ausgebildet, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten. Ebenfalls offenbart wird ein Verfahren zur Herstellung der Sensoreinheit.</p> |
