| 摘要 |
<p>본 발명은 웨이퍼를 정렬시키는 얼라인 장치에 있어서, 하우징의 상부에 장착되며, 웨이퍼를 정위치에 정렬시키기 위해 웨이퍼를 회전시키는 회전수단; 상기 회전수단의 상부에 적층되고, 정렬시키고자 하는 웨이퍼가 안착되도록 상승하고, 상기 상승에 의해 안착된 웨이퍼를 회전수단에 안착시키기 위해 하강하여 상기 회전수단에 안착시키는 승강 가능한 안착수단; 및 하우징의 일측 상면에 맞닿은 하우징의 내부 상단부와 상기 하우징의 일측 상면으로부터 소정의 높이에 대향되도록 각각 장착되고, 상기 회전수단의 회전에 따라 회전되는 웨이퍼의 노치 및 중심점을 검출하여 정위치에 정렬이 되도록 하는 검출 센서;를 포함하는 웨이퍼 얼라인 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼의 노치 및 중심점을 검출하여 웨이퍼를 정렬시키기 위해 웨이퍼를 이송하여 회전수단에 안착시키는 안착수단이 직접 상승 또는 하강하도록 함으로써 웨이퍼에 발생하는 손상을 방지할 수 있는 웨이퍼 얼라인 장치를 제공할 수 있다.</p> |
