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Unter Rückgriff auf Entwurfsdaten für eine Probe wird ein Messbereich an einem Teilbereich in den Entwurfsdaten definiert, der keine Stufe in einer Kante einer Struktur aufweist. Zudem wird aus den Entwurfsdaten eine Kante als charakteristischer Teilbereich erfasst und aus einem Sekundärelektronenbild wird eine Kante als charakteristischer Teilbereich erfasst, der dem charakteristischen Teilbereich der Entwurfsdaten entspricht. Dann wird der Messbereich in einem Sekundärelektronenbild basierend auf einem Positionszusammenhang zwischen der Kante der Entwurfsdaten und der Kante des Sekundärelektronenbilds positioniert und festgelegt. Eine Breite der Struktur wird auf der Grundlage eines Abstands zwischen den zwei im so festgelegten Messbereich enthaltenen Kanten gemessen.
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