| 摘要 |
<p>또한 본 발명은, 유체를 이송하기 위한 채널(channel)이 내부에 형성되고, 전자기파가 입사(入射)되는 측면에 렌즈가 마련된 기판을 형성하는 단계; 및, 상기 채널을 따라 유동하는 유체의 흐름을 제어하기 위하여, 전자기파 에너지에 의해 용융되는 상전이 물질(phase transition material)을 포함하는 밸브를 상기 기판 내부에서 상기 렌즈를 통과하는 전자기파가 조사되는 영역 안에 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유동 시스템의 제조방법을 제공한다.</p> |
