发明名称 Plasma-Verarbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE112010005668(T5) 申请公布日期 2013.05.02
申请号 DE20101105668T 申请日期 2010.06.18
申请人 MAHLE INTERNATIONAL GMBH;MAHLE METAL LEVE S/A 发明人 DA ROCHA MORDENTE, PAULO JOSE;NUNES PADIAL, ALEXANDRE
分类号 H05H1/50;H01J37/32 主分类号 H05H1/50
代理机构 代理人
主权项
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