发明名称 |
Optisches System in einer Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
摘要 |
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申请公布号 |
DE102011085334(A1) |
申请公布日期 |
2013.05.02 |
申请号 |
DE20111085334 |
申请日期 |
2011.10.27 |
申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
SAENGER, INGO;SCHLESENER, FRANK |
分类号 |
G02B27/28;G02B5/30;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B27/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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