发明名称 Optisches System in einer Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE102011085334(A1) 申请公布日期 2013.05.02
申请号 DE20111085334 申请日期 2011.10.27
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 SAENGER, INGO;SCHLESENER, FRANK
分类号 G02B27/28;G02B5/30;G03F7/20 主分类号 G02B27/28
代理机构 代理人
主权项
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