于金属沈积单元中放置一或多个电路板的定位装置及其相关方法

摘要

本发明揭示一种针对一工作单元放置一或多个电路板之定位装置。该装置包括：一旋转构件，其可选择性地在一第一工作位置及一第二工作位置之间旋转；以及一安装在该旋转构件上之定位构件。该定位构件包括：一框架(24)，其被可卸除地安装在该旋转构件上；及一散逸材料条带(32)，每一电路板被放置在该条带上。该条带(32)缠绕于一对卷绕/取消卷绕滚轮(30，31)之间，该等滚轮以枢轴方式安装在该框架(24)上。该定位构件还包括加热构件(40)，其能够加热该晶圆，使其温度达到一确定工作温度。