| 摘要 |
一种离子布植机之一分析器模组包括与一解析开口相邻的离子束偏转装置，其中一离子束之一末端离子束部分自离子束偏转装置发出。回应于一第一操作条件中之实质上零伏特之一第一值之一离子束偏转电压，离子束偏转装置将离子束之一来源离子束部分导向解析开口以产生末端离子束部分。当离子束偏转电压具有一在一第二操作条件中之高的第二值时，离子束偏转装置将来源离子束部分之种类导离解析开口，以使得末端离子束部分实质上是熄灭的。在第二操作条件过程中操作离子束控制电路以藉由自第二值快速地切换离子束偏转电压为第一值而转变离子布植机为第一操作条件。一种布植方法使用布植机之特点以在布植过程中自跳动回复且藉此改良所布植之晶圆的良率。 |
