具有改良贮存寿命之用于于半导体装置之制造中充填间隙的组成物

摘要

提供一种具有改良贮存寿命之用于充填半导体装置之小间隙的组成物。此组合物包含一端盖之矽酮聚合物。此端盖之矽酮聚合物的分子量在贮存期间没有变化。此外，组合物在硷性显影溶液中的溶出速率(DR)在贮存期间维持在一预期量。亦即，此组合物在贮存期间为高度安定。因此，此组合物适于用在半导体电容制造之节点分离制程中。