奈米结晶的形成

摘要

在一实施例中，本发明提供一种在一基材上形成一金属奈米结晶材料的方法，此方法包括：曝露一基材于一预处理制程，在基材上形成一穿隧介电层，曝露基材于一后处理制程，在穿隧介电层上形成一金属奈米结晶层，及在金属奈米结晶层上形成一介电覆盖层。此方法更提供形成具有奈米结晶密度为至少约5x1012cm-2之金属奈米结晶层，尤以具有至少约8x1012cm-2为佳。在一范例中，此金属奈米结晶层含有铂、钌或镍。在另一实施例中，本发明提供一种在基材上形成一多层的金属奈米结晶材料的方法，此包含：形成复数个双层，其中每一双层包含沉积于一金属奈米结晶层上之一中间介电层。某些范例包括至少10、50、或100层的双层。