氧化钇烧结体及电浆制程装置用构件

摘要

本发明系提供一种高强度、低介电损耗之氧化钇烧结体。;该氧化钇烧结体，其特征为含有99.9质量%以上的氧化钇，气孔率为1%以下，平均结晶粒径为3μm以下，且由下述(1)式算出之累积频率比为3以下，1～20GHz的频率之介电损耗tanδ为1×10-4以下。;累积频率比=D90/D50　…(1);但，上述式(1)中的各记号如下。;D90：由在结晶粒的个数基准之粒度分布的小粒径侧累计成为90%之结晶粒径(μm);D50：由在结晶粒的个数基准之粒度分布的小粒径侧累计成为50%之结晶粒径(μm)