具探针座电性通道自我检测之半导体测试系统

摘要

本发明系关于一种具探针座电性通道自我检测之半导体测试系统，系先提供一回路电路板，并以其各式接点对应电性接触至测试载板上探针座之各式探针而分别产生回路，再由自测控制器输入不同之检测讯号至每一电源通道、传输通道、及驱动通道以传经上述回路，透过复数个参数检出单元分别检测每一电源通道、传输通道、及驱动通道因接收上述检测讯号后所对应产生之回应讯号并加以判断。据此，本发明能于检测待测晶圆作业之前，先自我检测探针座之各电性通道及探针之开路或短路状态是否正常，或是否有漏电的情况发生。