防镀膜影响之溅镀装置

摘要

一种防镀膜影响之溅镀装置，包含复数个连续接合的腔体、一个以上的承载盘及一个以上的外部检出装置，该一个以上的外部检出装置装设于一溅镀装置腔体之两个成对的玻璃视窗，其包含一发射器以及一接收器分别置于该腔体外部且与该玻璃视窗位置对应，该玻璃视窗包含两个防镀管置于该腔体内并分别遮蔽两个该玻璃视窗，该发射器发射一输出光进入该腔体而经由两个防镀管及至该接收器；该防镀管可以在溅镀装置于溅镀制程中，提供对应的玻璃视窗有效之遮蔽，使材料粒子不会镀制于该玻璃视窗上，故提升溅镀装置的使用便利性并可降低维护成本。