| 摘要 |
在原子层沈积或化学气相沈积反应器100的表面201上形成一保护层208。在原子层沈积或化学气相沈积反应器100中定义出一反应空间的零件，可利用使反应空间表面201上的反应位置210去活化的化学品206，进行现场(in situ)或非现场(ex situ)处理。在进行处理步骤504之前，一前处理步骤502可使有效的反应位置210增加到最多。反应位置210因为吸附处理反应物208而去活化。在后续的处理期间，反应物气体214可还原反应性或沈积在这些被处理的表面上。因此，喷冲步骤310、314能够大大地被减少，且在清洁步骤中间可施行更多次处理步骤，以去除反应器壁上的组合沈积。 |
