| 摘要 |
本发明提供一种探针卡，其系可提升用以收容使电路构造间电气连接之探针的探针头相对于预定基准面之平行度的精确度及平面度的精确度。为了达成此目的，探针卡系具备：探针头15，用以保持多数支探针；平板状布线基板11，具有对应电路构造之布线图案；夹入件(interposer)13，积层于布线基板11，用以中继布线基板11之布线；空间变换器(Space Transformer)14，夹设于夹入件13与探针头15之间，用以变换夹入件13所中继之布线间隔，并将经此变换后之布线显现于与探针头15相对向之表面；以及多数个柱构件18，形成具有高度比布线基板11之板厚与夹入件13之板厚之和还大的大致柱状，而向布线基板11与夹入件13之板厚方向贯穿并埋设于布线基板及夹入件中，上述多数个柱构件之一方之底面顶接于空间变换器。 |
