金属薄膜之物理气相沉积方法

摘要

一种金属薄膜之物理气相沉积方法，可用以制备钛、铝与钛铝合金之金属薄膜，其步骤包含有：于一密闭腔体内置入一基材，以及一由钛、铝或钛铝合金所制成之靶材，在该密闭腔体内抽真空达6.6×10-4~1.3Pa之背景压力后，将空气与氩气以流量比6/100以下进行混合后的混合气体通入该密闭腔体，在工作压力1.3×10-2Pa~1.3Pa下，施加电压于该基材与该靶材，即可于该基材之表面沉积形成金属薄膜。由于本发明采用随处可得的空气，且背景压力要求不高，具有设备简单、制程快速、成本低廉等优点。