显示装置，使用彼之Ｃｕ合金膜及Ｃｕ合金溅镀靶

摘要

本发明提供维持铜系材料的特征之低电阻，同时与玻璃基板之密接性优异的显示装置用铜合金膜。本发明系关于一种显示装置用铜合金膜，系于基板上，与玻璃基板直接接触的配线之显示装置用铜合金膜，其特征为：该铜合金膜，系由钛、铝及镁所构成的群所选择之1种以上的元素合计含有0.1～10.0原子百分比。本发明也包含具备包含前述显示装置用铜合金膜的薄膜电晶体之显示装置。作为该显示装置，较佳的是该薄膜电晶体具有底闸型构造，该薄膜电晶体之闸极电极及扫描线包含前述显示装置用铜合金膜，与玻璃基板直接接触之态样。