| 摘要 |
本发明实施例包括一负载锁定室、一具有一负载锁定室之处理系统以及在大气及真空环境间传递基板之方法。在一实施例中，该方法包含在一室本体中之传递空腔内部保持一已处理的基板达两个通气周期。在另一实施例中，该方法包含由一传递空腔传递一基板至一位于室本体中之加热空腔，并在加热空腔中加热基板。在另一实施例中，一负载锁定室包含一室本体，该室本体具有设置于一传递空腔中的基板支架。基板支架可在一第一高度及一第二高度间移动。多个凹槽形成于传递空腔之天花板或地板至少其中一者内，且该等凹槽系配置用以当基板支架位于第二高度时，容纳至少一部分的基板支架。 |
