| 发明名称 |
具有周期结构之蓝宝石基板之制造方法 |
| 摘要 |
本发明系有关于一种具有周期结构之蓝宝石基板之制造方法，包括：(A)提供该蓝宝石基板及复数奈米球，其中该复数奈米球系排列于该蓝宝石基板之表面；(B)形成一填充层于该蓝宝石基板之部分表面及该复数奈米球之间隙；(C)移除该复数奈米球；(D)将该填充层做为一蚀刻遮罩并蚀刻该蓝宝石基板；以及(E)移除该蚀刻遮罩，以于该蓝宝石基板之表面形成该周期结构，以制得具有周期结构之蓝宝石基板。 |
| 申请公布号 |
TWI394873 |
申请公布日期 |
2013.05.01 |
| 申请号 |
TW098113870 |
申请日期 |
2009.04.27 |
| 申请人 |
和椿科技股份有限公司 台北市内湖区洲子街60号 |
发明人 |
李崇华;李昇儒 |
| 分类号 |
C30B29/20;C30B33/08;H01L33/22 |
主分类号 |
C30B29/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;苏建太 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
台北市内湖区洲子街60号 |
