摘要 |
本发明提供一种在高温环境下强度高,拉晶结束后能简单取出的二氧化矽玻璃坩埚。二氧化矽玻璃坩埚具有设置于坩埚外表面侧的二氧化矽玻璃外层、设置于坩埚内表面侧的二氧化矽玻璃内层、设置于二氧化矽玻璃外层和二氧化矽玻璃内层之间的二氧化矽玻璃中间层。二氧化矽玻璃外层有100ppm以上的矿化剂浓度,二氧化矽玻璃中间层和二氧化矽玻璃内层具有50ppm以下的矿化剂浓度。优选的,外层和中间层由天然二氧化矽组成,内层由高纯度天然二氧化矽或合成二氧化矽组成。且底部的二氧化矽玻璃外层的厚度是0.5mm~2.0mm,侧壁部的外层比底部的外层厚。 |