发明名称 单晶矽拉晶用二氧化矽玻璃坩埚
摘要 本发明提供一种在高温环境下强度高,拉晶结束后能简单取出的二氧化矽玻璃坩埚。二氧化矽玻璃坩埚具有设置于坩埚外表面侧的二氧化矽玻璃外层、设置于坩埚内表面侧的二氧化矽玻璃内层、设置于二氧化矽玻璃外层和二氧化矽玻璃内层之间的二氧化矽玻璃中间层。二氧化矽玻璃外层有100ppm以上的矿化剂浓度,二氧化矽玻璃中间层和二氧化矽玻璃内层具有50ppm以下的矿化剂浓度。优选的,外层和中间层由天然二氧化矽组成,内层由高纯度天然二氧化矽或合成二氧化矽组成。且底部的二氧化矽玻璃外层的厚度是0.5mm~2.0mm,侧壁部的外层比底部的外层厚。
申请公布号 TWI394721 申请公布日期 2013.05.01
申请号 TW099125480 申请日期 2010.07.30
申请人 日本超精石英股份有限公司 日本 发明人 佐藤贤
分类号 C03B20/00;C30B15/10;C30B29/06 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人 刘育志 台北市大安区敦化南路2段77号19楼
主权项
地址 日本