利用雷射蚀刻制作玻璃板之方法及其雷射照射装置

摘要

本发明系有关于一种利用雷射蚀刻制作玻璃板之方法，包括：一浸泡步骤，将一待蚀刻之玻璃板浸泡于在一蚀刻溶液中；以及一图案化步骤，对浸泡在蚀刻溶液中之玻璃板进行雷射照射，以于玻璃板中形成一图案；以及一清洗步骤，以洗净图案化之玻璃板。相较于一般使用蚀刻用光阻制作玻璃板之方法，本发明之方法可制作出具有高纵横比及细线宽之玻璃板，且更能有效使用能量又具有较高的蚀刻效率，而并非单纯的使用雷射蚀刻法而已。