一种LED芯片及其制作方法

摘要

本发明揭露了一种LED芯片及其制造方法，所述LED芯片的制造方法，在蓝宝石衬底的一面形成外延层，在所述蓝宝石衬底的另一面上形成阵列排布的棱台，并在所述蓝宝石衬底形成有棱台的一面上形成反射层。这样通过在反射层上的二次反射改变光在LED芯片表面的出射角度，反射层和LED的出光面无法形成波导结构，降低全反射几率，从而达到提高光析出率的目的。

主权项

一种LED芯片的制造方法，包括：提供蓝宝石衬底；在所述蓝宝石衬底的一面形成外延层；在所述蓝宝石衬底的另一面上形成掩膜层；在所述外延层上形成保护层；进行光刻工艺，图形化所述掩膜层，在所述掩膜层中形成阵列排布的图形；以所述掩膜层为掩膜，进行湿法刻蚀工艺刻蚀所述蓝宝石衬底，形成阵列排布的棱台；去除所述掩膜层和保护层，在所述蓝宝石衬底形成有棱台的一面上形成反射层。