用于制造薄膜层叠件的设备

摘要

一种用于通过在带状柔性基片的表面上层叠多个薄膜来制造薄膜层叠件的设备，它包括：基片输送装置，用于以带状柔性基片的宽度方向处于垂向的方式沿着水平方向输送带状柔性基片；沿着带状柔性基片的被输送方向接连地布置的多个薄膜形成室，用于在带状柔性基片的表面上形成薄膜；以及布置在多个薄膜形成室之间的成对的上夹持辊，用于夹紧所述带状柔性基片的上边缘部分。

主权项

一种用于通过在带状柔性基片的表面上层叠多个薄膜来制造薄膜层叠件的设备，包括：基片输送装置，用于以所述带状柔性基片的宽度方向处于垂向的方式沿着水平方向输送所述带状柔性基片；沿着所述带状柔性基片的被输送方向接连地布置的多个薄膜形成室，用于在所述带状柔性基片的所述表面上形成薄膜；以及布置在所述多个薄膜形成室之间的成对的上夹持辊，用于夹紧所述带状柔性基片的上边缘部分；其中，所述上夹持辊安装成所述各辊子的转动方向相对于所述带状柔性基片的被输送方向向上倾斜，所述上夹持辊的转动方向和所述带状柔性基片的被输送方向之间的角度在1.5到6度之间。