形成表面特征的方法、形成弹性体蜡纸的方法及成套用具

摘要

本发明涉及使用具有可移动的背衬的弹性体蜡纸使基板形成图案的方法以及制备所述蜡纸的方法。

主权项

一种在基板上形成表面特征的方法，所述方法包括：（a）提供弹性体蜡纸，所述弹性体蜡纸具有：具有前表面和后表面的弹性体材料，所述前表面和后表面包括穿过该前表面和后表面的开孔，所述开孔界定所述弹性体材料的表面中的图案，其中，所述开孔的横向尺寸为0.1‑50μm，并且，其中所述弹性体材料的厚度不大于所述横向尺寸的10倍；以及粘附于所述弹性体材料的后表面的可移动的背衬层；（b）使所述弹性体蜡纸的前表面与基板保形地接触；（c）将所述背衬层从所述弹性体蜡纸上移除；（d）将反应性组合物施用于所述弹性体蜡纸中的开孔；（e）使所述反应性组合物与所述基板反应，以在所述基板上产生表面特征，其中，所述弹性体蜡纸中的开孔的横向尺寸界定通过所述反应而产生的表面特征的横向尺寸；以及（f）将所述弹性体蜡纸的前表面与形成了图案的基板分离。