多组件牺牲结构

摘要

本发明提供包括牺牲结构的MEMS，所述牺牲结构包括较快蚀刻部分及较慢蚀刻部分，当通过蚀刻掉所述牺牲结构而在所述MEMS中形成腔时，所述MEMS展现对结构特征降低的损害。差异蚀刻速率以机械方式使结构层去耦，因此降低蚀刻工艺期间装置中的应力。本发明还提供方法及系统。

主权项

一种包括微机电系统装置的设备，其中所述微机电系统装置包括：牺牲结构，其形成于第一结构层上；第二结构层，其形成于所述牺牲结构上；以及支撑结构，其在所述第一结构层与所述第二结构层之间延伸并支撑所述第二结构层，其中所述第二结构层包括延伸穿过所述第二结构层的多个蚀刻剂入口，所述牺牲结构包括邻近所述第一结构层的第一部分及远离所述第一结构层的第二部分，所述第一部分及第二部分为不同材料，且所述第一部分及所述第二部分两者可用相同蚀刻剂相对于所述第一结构层、所述支撑结构及所述第二结构层选择性地蚀刻。