发明名称 半导体器件
摘要 本申请公开了一种半导体器件。在一示例中,半导体器件可以包括:衬底;和在衬底上形成的槽栅型金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)和垂直型结型场效应晶体管(JFET)。MOSFET可以包括:在衬底中形成的槽型栅区;和在衬底中形成的源区和漏区。JFET可以包括:在衬底中形成的槽填充部底端下方形成的栅区;和在衬底中形成的源区和漏区。JFET的栅区与MOSFET的源区可以在衬底中电接触,JFET的漏区与MOSFET的漏区可以包括衬底的相同部分。
申请公布号 CN202917488U 申请公布日期 2013.05.01
申请号 CN201220568206.0 申请日期 2012.10.31
申请人 成都芯源系统有限公司 发明人 张磊;李铁生;马荣耀
分类号 H01L27/088(2006.01)I;H01L27/098(2006.01)I 主分类号 H01L27/088(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王波波
主权项 一种半导体器件,其特征在于,该半导体器件包括:衬底;和在衬底上形成的槽栅型金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)和垂直型结型场效应晶体管(JFET),其中所述MOSFET包括:在衬底中形成的槽型栅区;和在衬底中形成的源区和漏区,所述JFET包括:在衬底中形成的槽填充部底端下方形成的栅区;和在衬底中形成的源区和漏区,其中,所述JFET的栅区与所述MOSFET的源区在衬底中电接触,所述JFET的漏区与所述MOSFET的漏区包括衬底的相同部分。
地址 611731 四川省成都市高新西区出口加工区(西区)科新路8号