| 主权项 |
一种高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法，特征在于该方法包括以下步骤：①制作一个部分透光平板（2）：在部分透光平板（2）前表面的下半部分涂上黑漆，使得入射到其上的光束被吸收；在部分透光平板（2）后表面的下半部分镀反射膜；②在移相干涉仪（1）输出的平行光束方向依次设置所述的部分透光平板（2）和待测高反射率凹面锥形反射镜（3），所述的待测高反射率凹面锥形反射镜（3）的锥面朝向移相干涉仪（1）的出光方向；③调整光路：调整所述的部分透光平板（2）的前平面与所述的平行光束垂直，且保证所述部分透光平板（2）的中轴与所述的移相干涉仪（1）出射光束的中轴重合；调整所述的高反射率凹面锥形反射镜（3），使所述的高反射率凹面锥形反射镜（3）的中轴与所述的移相干涉仪（1）出射光束的中轴重合，所述的部分透光平板（2）与待测高反射率凹面锥形反射镜（3）之间的距离应满足以下关系： <mrow> <mi>L</mi> <mo>≥</mo> <mi>d</mi> <mn>1</mn> <mo>+</mo> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </mrow> <mrow> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>Φ</mi> <mn>2</mn> </mfrac> <mi>c</mi> <mi>tan</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <mi>θ</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>+</mo> <mfrac> <mi>Φ</mi> <mn>2</mn> </mfrac> <mi>tan</mi> <mi>θ</mi> </mrow> <mrow> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mi>Φ</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mn>1</mn> <mo>+</mo> <msup> <mi>tan</mi> <mn>2</mn> </msup> <mi>θ</mi> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> <mrow> <mn>4</mn> <mi>tan</mi> <mi>θ</mi> </mrow> </mfrac> </mrow>其中，Φ为入射到待测高反射率凹面锥形反射镜（3）上的光束口径，θ为所述待测高反射率凹面锥形反射镜（3）的锥角；④所述的移相干涉仪（1）出射的光束经所述的部分透光平板（2）形成平行的测量光束，经所述的部分透光平板（2）后表面返回的光束形成参考光束；所述的测量光束经所述的高反射率凹面锥形反射镜（3）反射后再经所述的部分透光平板（2）原路反射回移相干涉仪（1）中，该返回的测量光束与从部分透光平板（2）返回的参考光束在所述的移相干涉仪（1）产生干涉；⑤调整所述的部分透光平板（2）与待测高反射率凹面锥形反射镜（3）之间的距离获得完整清晰的干涉条纹，利用所述的移相干涉仪（1）检测干涉条纹，得到所述的高反射率凹面锥形反射镜（3）的面形信息。 |
