一种传感器及其测量方法

摘要

本发明公开了一种传感器及其测量方法，传感器结构包括：数模转换器、压电执行器、膜片、衬底。压力测量的步骤如下：数模转换器为压电执行器施加阶梯式增加的电压；压电执行器驱动压力传感器的膜片弯曲；数模转换器为压电执行器施加阶梯式减小的电压；测量膜片上的压力。本发明可以避免膜片位置的不确定性问题，减小机械迟滞误差，改善压力传感器的测量精度。

主权项

一种传感器，其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。