制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件、系统及清洗方法

摘要

公开了一种用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理系统，尤其是一种用于制造太阳能电池的、能够在太阳能电池的晶硅片的表面上形成诸如防反射膜的薄膜的薄膜沉积处理系统，以及一种清洗用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件的方法。该用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件包括：真空室，形成密封处理空间；托盘支承单元，安装于所述真空室内，用于支承其上装载有多个用于太阳能电池的晶体硅基片的托盘；喷头单元，安装于所述真空室的上方，用于将气体喷射到所述处理空间中；以及等离子产生器，用于从所提供的用于清洗所述真空室的清洗气体产生等离子。

主权项

一种用于制造太阳能电池的薄膜沉积处理组件，所述组件包括：真空室，其形成有一对彼此面对的门，并形成密封处理空间；托盘支承单元，其安装于所述真空室内，用于支承其上装载有多个用于太阳能电池的晶体硅基片的托盘，并设置有加热器；喷头单元，其安装于所述真空室的上方，用于将气体喷射到所述处理空间中；以及等离子产生器，用于从所提供的用于清洗所述真空室的清洗气体产生等离子；其中，所述真空室还设有被构造以传送所述托盘的托盘传送装置；其中，所述托盘传送装置包括：多个滚轮，其安装于具有矩形形状的所述托盘支承单元的两侧，以便通过支承所述托盘的边缘的底表面并被转动从而移动所述托盘；以及驱动单元，用于驱动所述多个滚轮；以及上下移动装置，其在所述托盘支承单元上安置所述托盘的状态下执行清洗工序时，保持所述托盘接触于所述托盘支承单元的状态，并且，在移动所述托盘时，为防止所述托盘与所述托盘支承单元之间产生摩擦，通过将所述滚轮上下移动，从而将由所述托盘支承单元支承的托盘进行上下移动，其中，所述托盘由金属材料或非金属材料制成。