光掩模用光学构件及其制造方法

摘要

本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。

主权项

一种光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件，其特征在于，所述TiO2的组成为3.0～6.5重量％、在波长365nm的透射率为90％以上；在20℃～80℃的线热膨胀系数为2.5×10‑7/℃以下；作为杂质，含有0.1wt·ppm以下的Al、0.05wt·ppm以下的Cu、0.1wt·ppm以下的Fe、0.05wt·ppm以下的Na、及0.05wt·ppm以下的K。