| 发明名称 | 光刻胶组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供了化学增幅型正性光刻胶组合物，它包含具有缩醛和脂环基的添加剂。本发明优选的光刻胶包括含具有一个或多个光酸不稳定部分的聚合物的树脂组分、一种或多种光酸生成化合物以及包含一种或多种脂环基例如金刚烷基的添加剂等。 | ||
| 申请公布号 | CN103076720A | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201210496282.X | 申请日期 | 2005.11.24 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | J·F·卡梅伦;S·J·姜;J·W·成 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种光刻胶组合物，它包括：i）包括一种或多种聚合物的树脂组分，所述聚合物含有（i）芳香基团和（ii）光酸不稳定基团；ii）一种或多种光酸生成化合物；和iii）一种或多种非聚合化合物，它含有（i）苯基、（ii）一个或多个光酸不稳定缩醛基团和（iii）一个或多个金刚烷基团。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||