静电电容式传感器装置

摘要

提供一种静电电容式传感器装置，能够高精度地检测外力的位置和大小。使用静电电容式传感器，该静电电容式传感器构成为，将隔开距离相对设置的电极对矩阵状地配置，在电极对之间配置能够弹性变形的介电层。静电电容测量部针对多种组合的电极对群进行电极对群之间的静电电容的测量，该电极对群由包括所选择的电极对的多个电极对构成。外力计算部根据这样测量得到的多个静电电容，来算出施加到所选择的电极对的位置的外力的大小。

主权项

一种静电电容式传感器装置，具备：静电电容式传感器，其构成为将隔开距离相对设置的电极对矩阵状地配置，在上述电极对之间配置能够弹性变形的介电层；静电电容测量部，其针对多种组合的电极对群进行电极对群之间的静电电容的测量，该电极对群由包含所选择的上述电极对的多个上述电极对构成；以及外力计算部，其根据测量得到的多个上述静电电容，来算出施加到上述所选择的上述电极对的位置的外力的大小。