| 主权项 |
一种将图案化的抗蚀剂涂层(2a，12a)涂覆至基底(6，16)表面上的方法，包括：至少一个步骤，其中将可流动的抗蚀剂(2，12)设置于压模(1，11)图案化的表面和载体(3，13)之间以使所述压模表面设置有图案化的抗蚀剂(2，12)表面，后续的分离步骤，其中使具有所述图案化的抗蚀剂涂层的第一部分(2a，12a)的所述压模与具有所述抗蚀剂涂层的第二部分(2b，12b)的所述载体彼此分离；后续的转移步骤，其中将所述压模(1，11)表面上的所述图案化的抗蚀剂涂层的所述第一部分(2a,12a)压抵所述基底(6，16)的所述表面以将所述图案化的抗蚀剂涂层(2a,12a)转印到所述基底(6，16)的所述表面上；固化步骤，其中使所述图案化的抗蚀剂涂层(2a,12a)的所述第一部分(2a,12a)固化；脱模步骤，其中将所述图案化的抗蚀剂涂层的所述第一部分(2a，12a)与所述压模(1，11)分离，其特征在于，所述至少一个步骤执行为压印步骤，其中，将可流动的抗蚀剂(2，12)压印于所述压模(1，11)的图案化的表面和所述载体(3，13)之间；在所述压印步骤之前，还包括涂覆步骤，在所述涂覆步骤中，用所述可流动的抗蚀剂(2，12)涂覆所述载体(3，13)，由此‑借助旋涂工艺用所述可流动的抗蚀剂涂覆所述载体，‑或者，所述压模(11)和所述载体(13)被构造成连续的传送带，借助分布装置(19)使所述可流动的抗蚀剂(12)涂覆至所述载体(13)，且借助平整辊(18)使所述载体(13)的所述抗蚀剂涂层的厚度恒定。 |
