发明名称 |
一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件 |
摘要 |
本实用新型公开了一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,包括掩模外框、掩模部以及支撑部,其中,所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述支撑部连接;所述支撑部包括N大于等于2个支撑部单元;所述支撑部单元由所述支撑条构成,所述掩模部上有掩模开口,所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口,所述掩模开口构成所述掩模部上的掩模图案区。本专利提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件可以解决掩模主体板面产生下垂造成精度下降、良品率低等问题,以及对现有由多个掩模单元组装而成的掩模部出现的位置错动问题,有效的改善产品的精度、质量,并提高良品率。 |
申请公布号 |
CN202913044U |
申请公布日期 |
2013.05.01 |
申请号 |
CN201220454410.X |
申请日期 |
2012.09.07 |
申请人 |
昆山允升吉光电科技有限公司 |
发明人 |
魏志凌;高小平;张炜平 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,包括掩模外框、掩模部以及掩模支撑部,其特征在于,所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述掩模支撑部连接;所述掩模支撑部包括N大于等于2个支撑部单元;所述支撑部单元由所述支撑条构成,所述掩模部上有掩模开口,所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口,所述开口构成掩模图案区。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |