发明名称 一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件
摘要 本实用新型公开了一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,包括掩模外框、掩模部以及支撑部,其中,所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述支撑部连接;所述支撑部包括N大于等于2个支撑部单元;所述支撑部单元由所述支撑条构成,所述掩模部上有掩模开口,所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口,所述掩模开口构成所述掩模部上的掩模图案区。本专利提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件可以解决掩模主体板面产生下垂造成精度下降、良品率低等问题,以及对现有由多个掩模单元组装而成的掩模部出现的位置错动问题,有效的改善产品的精度、质量,并提高良品率。
申请公布号 CN202913044U 申请公布日期 2013.05.01
申请号 CN201220454410.X 申请日期 2012.09.07
申请人 昆山允升吉光电科技有限公司 发明人 魏志凌;高小平;张炜平
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件,包括掩模外框、掩模部以及掩模支撑部,其特征在于,所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述掩模支撑部连接;所述掩模支撑部包括N大于等于2个支撑部单元;所述支撑部单元由所述支撑条构成,所述掩模部上有掩模开口,所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口,所述开口构成掩模图案区。
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