一种无应力光学零件上盘方法

摘要

本发明提供一种无应力光学零件上盘方法：1）用研磨的方法将该基板工作面的平面度误差小于0.01；2）将真空封泥条首尾相连成与上盘基板工作面相同的形状，整个基板能够放置2-3条真空封泥；3）将被加工零件的上盘面与真空封泥条紧贴，并垂直施加适当的压力使得真空封泥将零件与上盘基板见的空气完全密封，本发明方法工艺简单，易操作，按此方法制作的上盘零件无上盘应力，零件完成加工后，下盘面形保持不变。

主权项

一种无应力光学零件上盘方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将真空封泥搓成直径为3‑10mm的圆柱形；2）用研磨的方法将上盘基板工作面的平面度误差降低至小于0.01；3）经过步骤2）后，将圆柱形的真空封泥首尾相连成与上盘基板工作面具有相同形状的封泥圈，然后将封泥圈放在上盘基板的工作面上，整个上盘基板工作面上放置2‑3个封泥圈;4）将待加工零件的上盘面与上盘基板工作面上的封泥圈紧贴，然后垂直施加压力使得封泥圈将待加工零件与上盘基板间的空气完全密封，然后放置30‑60min即可对上盘零件进行加工。