一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法

摘要

本发明涉及一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法。其步骤为：1）将造渣剂装入中频炉石墨坩埚中加热熔化，得到渣夜，保温；2）在矿热炉出硅液过程中，向抬包底部持续通入空气和氧气的混合气体；3）待出硅液完成后，将中频炉石墨坩埚中的渣液倒入抬包中，同时往抬包里通入氧化性混合气体进行精炼；4）抬包精炼后，将硅渣一起倒入结晶器实现渣硅分离，得到提纯后的低磷硼多晶硅原料。本发明具备充分利用和节约能源、除磷硼效果好，环境无污染等特点。

主权项

一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法，其特征在于，所述的方法包括以下步骤：1）将造渣剂装入中频炉石墨坩埚中加热熔化，得到渣夜，保温；2）在矿热炉出硅液过程中，向抬包底部持续通入空气和氧气的混合气体；3）待出硅液完成后，将中频炉石墨坩埚中的渣液倒入抬包中，同时往抬包里通入氧化性混合气体进行精炼；4）抬包精炼后，将硅渣一起倒入结晶器实现渣硅分离，得到提纯后的低磷硼多晶硅原料。