研磨粒回收装置、研磨液的管理系统、玻璃基板的制造方法及研磨粒回收方法

摘要

本发明提供一种研磨粒回收装置、研磨液的管理系统、玻璃基板的制造方法及研磨粒回收方法，对该研磨粒回收装置的螺杆和转筒的损害均匀，且控制精度优良、回收率高。本发明涉及一种从含有研磨粒的料浆中分离含有所述研磨粒的浓缩液的研磨粒回收装置，该研磨粒回收装置具有保持所述料浆的转筒、用于将所述浓缩液从转筒中刮出的螺旋输送机、用于旋转驱动所述转筒及所述螺旋输送机的驱动单元、及控制所述驱动单元的控制单元，所述控制单元基于旋转驱动所述转筒或所述螺旋输送机用的所述驱动单元的驱动电流值控制所述转筒的旋转速度和所述螺旋输送机的旋转速度之差。

主权项

一种研磨粒回收装置，从含有研磨粒的料浆中分离含有所述研磨粒的浓缩液，该研磨粒回收装置具有：保持所述料浆的转筒；用于将所述浓缩液从转筒中刮出的螺旋输送机；用于旋转驱动所述转筒及所述螺旋输送机的驱动单元；及控制所述驱动单元的控制单元，所述控制单元基于旋转驱动所述转筒或所述螺旋输送机用的所述驱动单元的驱动电流值控制所述转筒的旋转速度和所述螺旋输送机的旋转速度之差。