| 发明名称 | 补液装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。本实用新型提供的补液装置，可随着化学药液的反复使用，药液的浓度变化，定时定量的补给，能够维持一定的药液浓度，从而保证工艺效果，操作简单。 | ||
| 申请公布号 | CN202915051U | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201220523801.2 | 申请日期 | 2012.10.12 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 初国超;何金群;王营营;裴立坤 |
| 分类号 | F17D1/14(2006.01)I | 主分类号 | F17D1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种补液装置，其特征在于，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 | ||