发明名称 |
一种改进性能的Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及大气等离子喷涂技术领域,具体涉及一种改进性能的Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法。所述制备方法,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),对被喷涂的基材表面进行预处理;步骤(3),选择Ar和H2气体为离子气体,通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出Y2O3涂层;步骤(4),将喷涂Y2O3涂层的基材置于等离子氧处理设备中,进行等离子氧处理。使用本发明制备的Y2O3涂层为纯正白色,色泽均匀,不再出现杂色斑点,并且具有优异的耐刻蚀性能。 |
申请公布号 |
CN103074562A |
申请公布日期 |
2013.05.01 |
申请号 |
CN201110328241.5 |
申请日期 |
2011.10.26 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
邵花;王文东;夏洋;李勇滔 |
分类号 |
C23C4/10(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/10(2006.01)I |
代理机构 |
北京市德权律师事务所 11302 |
代理人 |
刘丽君 |
主权项 |
一种改进性能的Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),对被喷涂的基材表面进行预处理;步骤(3),选择Ar和H2气体为离子气体,通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出Y2O3涂层;步骤(4),将喷涂Y2O3涂层的基材置于等离子氧处理设备中,进行等离子氧处理。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |