| 发明名称 | 设置有引出缝的离子注入机 | ||
| 摘要 | 本实用新型针对现有技术离子注入机进行离子注入时，工艺复杂、设备造价高的不足，提供一种设置有引出缝的离子注入机，包括设置有天线和放电室的离子源系统和设置有所述引出缝的引出系统，所述天线设置在所述放电室的顶部外，且沿所述的引出缝的长度方向设置，所述离子源系统由RF电源驱动，实用新型结构的离子注入机简化了离子注入机的结构，可省去价格昂贵的整形磁铁、均匀性调整单元，简化了离子注入的工艺，降低了离子注入机的成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202917429U | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201220594865.1 | 申请日期 | 2012.11.01 |
| 申请人 | 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司 | 发明人 | 崔保群;曹耀辉;李志军;路瑞亮 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H01J37/147(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种设置有引出缝的离子注入机，包括设置有天线和放电室的离子源系统(1)和设置有所述引出缝(13)的引出系统(2)，其特征在于：所述天线(11)设置在所述放电室的顶部外，且沿所述的引出缝的长度方向设置，所述离子源系统由RF电源驱动。 | ||
| 地址 | 066001 河北省秦皇岛市海港区北部工业区揽月街33号 | ||