| 发明名称 | 碳制坩埚 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够防止SiO气体从直筒部与托盘部的交界部分的泄漏且防止SiC化的早期加剧的碳制坩埚。碳制坩埚(5)用于对硅等金属单晶提拉装置中使用的石英坩埚(4)进行保持，并由直筒部(9)与托盘部(10)分割构成。在石英坩埚(4)与碳制坩埚(5)之间以覆盖碳制坩埚(5)的内表面的、至少直筒部(9)与托盘部(10)的交界部分(A)的方式配置有石墨质片材(11)。石墨质片材(11)为膨胀石墨片。 | ||
| 申请公布号 | CN103080389A | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201180042721.3 | 申请日期 | 2011.08.26 |
| 申请人 | 东洋炭素株式会社 | 发明人 | 冈田修;广濑芳明;幸哲也;须川浩充 |
| 分类号 | C30B15/10(2006.01)I;C04B35/83(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张宝荣 |
| 主权项 | 一种碳制坩埚，其由直筒部与托盘部分割构成，所述碳制坩埚的特征在于，以覆盖碳制坩埚的内表面的、至少直筒部与托盘部的交界部分的方式配置石墨质片材。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府大阪市 | ||