用于箱体间的密封定位台

摘要

本发明涉及密封定位台的设计领域，尤其涉及用于箱体间的密封定位台。本发明提供了用于箱体间的密封定位台，包括定位座和若干密封夹紧组件，在所述定位座上设置定位槽，通过定位槽实现对并排的各箱体的基本定位；在所述定位槽上开设成对设置于定位槽两侧壁的卡槽，配合卡条的使用，一方面可实现对各箱体的夹紧定位作用，一方面可使本发明的密封定位台能够适应不同箱体个数的定位需求；此外，通过密封夹紧组件的密封作用，实现两相邻箱体之间缝隙的密封。其采用结构简洁的设计方式，实现了并排设置的箱体间的定位和密封的设计效果，可适应不同工艺需求的半导体制造流程的要求，为实现半导体集成密封制造系统的模块化提供必要的准备与前提。

主权项

用于箱体间的密封定位台，其特征在于：包括定位座和若干密封夹紧组件，所述定位座上设有可放置并排设置的若干待定位箱体的定位槽，所述定位槽为长条状，所述定位槽长度方向的两侧壁契合待定位箱体底部的侧边，所述定位槽宽度方向的两侧壁契合若干并排放置后的待定位箱体底部的侧边，所述定位槽长度方向的两侧壁相对的位置设有若干成对布置的卡槽，位于同一侧壁上的两相邻所述卡槽的间距等于一待定位箱体侧边的长度，该密封定位台还包括一可卡合于任一对所述卡槽内的卡条；各所述密封夹紧组件包括第一夹紧板和第二夹紧板，所述第一夹紧板的一端固定于所述定位槽长度方向的第一侧壁，所述第二夹紧板的一端固定于所述定位槽长度方向的第一侧壁相对设置的第二侧壁，所述第一夹紧板和第二夹紧板围合于两相邻的待定位箱体相接触处的外围，且通过扣紧机构连接。