MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法

摘要

本发明公开了一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，或采用光敏探头检测第一放电腔MO腔的光信号，采用高压探头检测第二放电腔PA腔的放电信号，并将两信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现MOPA双腔同步出光。本发明可以有效的实时获得准分子激光器的放电时序信号，结合准分子激光器专用的同步控制器，可以有效的对MOPA结构的双腔准分子激光器进行同步控制，达到所需的控制精度。

主权项

一种MOPA系统准分子激光同步控制中的信号获取方法，其特征在于：包括有第一放电腔MO腔和第二放电腔PA腔，每个放电腔内均安装有准分子激光放电头，分别采用两高压探头对两准分子激光放电头进行检测，获取两放电腔的放电高压信号，并将两放电高压信号传输至同步控制器，同步控制器提取其中的上升沿，进行同步调整，实现 MOPA双腔同步出光。