发明名称 激光焦斑光强分布测试装置
摘要 本实用新型涉及一种激光焦斑光强分布测试装置,该激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。本实用新型提出了一种集成度高、结构紧凑以及自动化程度高的激光焦斑光强分布测试装置。
申请公布号 CN202916007U 申请公布日期 2013.05.01
申请号 CN201220595151.2 申请日期 2012.11.12
申请人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明人 陈永权;段亚轩;赵建科;李坤;胡丹丹
分类号 G01J1/00(2006.01)I 主分类号 G01J1/00(2006.01)I
代理机构 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人 姚敏杰
主权项 一种激光焦斑光强分布测试装置,其特征在于:所述激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。
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